JIS K 0164:2010
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профиля бора в кремнии.

Стандартный №

JIS K 0164:2010

Дата публикации

2010

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

состояние

быть заменен 2023-02

быть заменен

JIS K 0164:2023

Последняя версия

JIS K 0164:2023

JIS K 0164:2010 Ссылочный документ

• JIS K 0143:2000  Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

JIS K 0164:2010 История

• 2023 JIS K 0164:2023 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профиля бора в кремнии.
• 2010 JIS K 0164:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профиля бора в кремнии.