Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, хранение, транспортировку и безопасность водорода, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на водород, используемый в электронной промышленности, который очищается и производится из водорода в баллонах, контейнерах и трубопроводах. В основном они используются для создания восстановительной атмосферы, в качестве газа-носителя для эпитаксии и в качестве газораспределительного материала для плазменного травления.
GB/T 16942-2009 Ссылочный документ
GB 14194-2006 Правила наполнения постоянных газовых баллонов