GB/T 16942-1997
Газы для электронной промышленности. Водород. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 16942-1997
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-05
- быть заменен
- GB/T 16942-2009
- Последняя версия
- GB/T 16942-2009
- сфера применения
- Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, безопасность и т. д. водорода, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт применим к баллонному водороду, полученному путем очистки промышленного водорода в качестве сырья. Водород в основном используется для создания восстановительной атмосферы, в качестве газа-носителя для эпитаксиального процесса и в качестве сырья для газораспределения плазменного травителя. Молекулярная формула: H2 Относительная молекулярная масса: 2,016 (согласно международной относительной атомной массе в 1991 году).
GB/T 16942-1997 История
- 2009 GB/T 16942-2009 Газ для электронной промышленности.Водород
- 1997 GB/T 16942-1997 Газы для электронной промышленности. Водород.
