GB/T 15909-2009
Газ для электронной промышленности-Силан (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 15909-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2017-12
- быть заменен
- GB/T 15909-2017
- Последняя версия
- GB/T 15909-2017
- заменять
- GB/T 15909-1995
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, хранение, транспортировку и безопасность силанового газа. Настоящий стандарт применим к эпитаксиальному осаждению поликремния и монокристаллического кремния, низкотемпературному химическому осаждению диоксида кремния из паровой фазы и осаждению пленок аморфного кремния в электронной промышленности.
GB/T 15909-2009 Ссылочный документ
- GB 11640 Бесшовные газовые баллоны из алюминиевого сплава.*， 2011-12-30 Обновление
- GB 14193 Правила наполнения баллонов сжиженным газом
- GB 190-2009 Символ упаковки опасных грузов
- GB 5099-1994 Бесшовные стальные газовые баллоны
- GB 7144-1999 Цветная маркировка баллона для газов
- GB/T 3723-1999 Отбор проб химических продуктов для промышленного использования. Безопасность при отборе проб.
- GB/T 5832.1-2003 Определение влаги в газах. Часть 1. Электролитический метод.
- GB/T 8984-2008 Определение угарного газа, углекислого газа и углеводородов в газах. Газохроматографический метод
GB/T 15909-2009 История
- 2017 GB/T 15909-2017 Газ для электронной промышленности — Силан.
- 2009 GB/T 15909-2009 Газ для электронной промышленности-Силан
- 1995 GB/T 15909-1995 Газ для электронной промышленности-Силан
