GB/T 15909-1995
Газ для электронной промышленности-Силан (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 15909-1995
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-05
- быть заменен
- GB/T 15909-2009
- Последняя версия
- GB/T 15909-2017
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы контроля, правила контроля, упаковку, маркировку, транспортировку, хранение и требования безопасности к силановому газу, используемому в электронной промышленности. Этот стандарт в основном используется в электронной промышленности для эпитаксиального осаждения поликремния и монокристаллического кремния, низкотемпературного химического осаждения диоксида кремния из паровой фазы, осаждения пленок аморфного кремния и т. д. Молекулярная формула: SiH4 Относительная молекулярная масса: 32,117 (по данным международная относительная атомная масса в 1991 году). Точка кипения при 101,3 кПа: ——112°C. Плотность газа при 20°C и 101,3 кПа: 1,342 кг/м3. Плотность жидкости при -185°С: 711 кг/м3.
GB/T 15909-1995 История
- 2017 GB/T 15909-2017 Газ для электронной промышленности — Силан.
- 2009 GB/T 15909-2009 Газ для электронной промышленности-Силан
- 1995 GB/T 15909-1995 Газ для электронной промышленности-Силан
