GB/T 24580-2009 (Англоязычная версия) Метод испытаний для измерения загрязнения бором сильнолегированных кремниевых подложек n-типа методом вторичной ионной масс-спектрометрии

Стандартный №: GB/T 24580-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 24580-2009

сфера применения: 1.1 Настоящий стандарт определяет метод масс-спектрометрии вторичных ионов на наличие загрязнения бором в сильнолегированных кремниевых подложках n-типа. Настоящий стандарт применяется к масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС) для определения следовых примесей бора (общее количество) в сильнолегированных монокристаллических материалах кремниевых подложек n-типа. 1.2 Настоящий стандарт распространяется на определение концентрации бора в кремниевых материалах с концентрацией легирования сурьмой, мышьяком и фосфором < 0,2% (l×10 атомов/см). Он особенно подходит для примесей p-типа, которые намеренно не легированы бором, а также для проверки кремниевого материала с концентрацией следовых количеств (

GB/T 24580-2009 Ссылочный документ

ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса

2009 GB/T 24580-2009 Метод испытаний для измерения загрязнения бором сильнолегированных кремниевых подложек n-типа методом вторичной ионной масс-спектрометрии