GB/T 24575-2009
Метод испытаний для измерения поверхностного натрия, алюминия, калия и железа на кремниевых и эпи-подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 24575-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 24575-2009

сфера применения

1.1 Настоящий стандарт определяет метод масс-спектрометрического обнаружения вторичных ионов для Na, Al, K и Fe на поверхности кремния и эпитаксиальных пластин. Настоящий стандарт распространяется на обнаружение Na, Al, K и Fe на поверхности зеркально-полированных пластин монокристаллического кремния и эпитаксиальных пластин методом вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС). Этот стандарт проверяет общее количество каждого металла, поэтому метод не зависит от химических и электрических свойств отдельных металлов. 1.2 Настоящий стандарт распространяется на кремниевые пластины всех типов и концентраций легирования. 1.3 Настоящий стандарт особенно применим для испытаний на поверхностное загрязнение металлом на глубине около 5 нм на поверхности пластины. 1.4 Настоящий стандарт применяется к испытаниям Na, Al, K и Fe, поверхностная плотность которых находится в диапазоне (10–10 атомов/см). Предел обнаружения этого метода зависит от значения бланка или предела скорости счета, который варьируется в зависимости от прибора. 1.5 Настоящий стандарт Метод испытаний является дополнением к следующим методам испытаний: 1.5.1 Рентгенофлуоресцентный спектрометр полного отражения (TXRF), который может обнаруживать на поверхности металлы с высоким атомным номером Z, такие как Fe, но отсутствует достаточно низкий уровень для предела обнаружения Na, Al и K (). 1.5.2 Проведите разложение паровой фазы (VPD) металла на поверхности, затем используйте атомно-абсорбционный спектрометр (ААС) или масс-спектрометр с индуктивно связанной плазмой (ICP-MS) для проверки продукта после разложения, предел обнаружения металла. составляет (10-10) атомов/см. Однако этот метод не может предоставить информацию о пространственном распределении, а разложение газовой фазы и предварительное концентрирование металлов связаны с химическими характеристиками каждого металла.

GB/T 24575-2009 Ссылочный документ

• ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса
• ASTM E673  Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности

GB/T 24575-2009 История

• 2009 GB/T 24575-2009 Метод испытаний для измерения поверхностного натрия, алюминия, калия и железа на кремниевых и эпи-подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии