Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы контроля, правила контроля и требования к упаковке, маркировке, транспортировке, хранению, наполнению, дополнительной упаковке и безопасности для газа хлористого водорода 5N, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на бутилированный сжиженный хлористый водород, полученный из промышленного хлористого водорода в качестве сырья путем очистки. Хлороводород в основном используется в процессах парофазной полировки, эпитаксии и базовой коррозии пластин монокристаллического кремния при производстве полупроводниковых приборов в микроэлектронной промышленности. Его также можно использовать при обработке поверхности цементированного карбида и стекла, фармацевтических промежуточных продуктах и тонком химическом производстве, научных исследованиях и других областях. Молекулярная формула: HCl. Относительная молекулярная масса: 36,46 л (согласно международной относительной атомной массе в 2005 г.).
GB/T 24469-2009 Ссылочный документ
GB 13004 Периодическая проверка и оценка бесшовных стальных газовых баллонов.
GB 14193 Правила наполнения баллонов сжиженным газом
GB 15258 Общие правила оформления предупредительной этикетки для химических веществ
GB 15382 Общие характеристики клапанов газовых баллонов
GB 17265 Требования безопасности для станций заправки баллонов со сжиженным газом
GB/T 16942 Газ для электронной промышленности.Водород*, 2009-10-30 Обновление
GB/T 16943 Газ для электронной промышленности.Гелий*, 2009-10-30 Обновление
GB/T 16944 Газ для электронной промышленности.Азот*, 2009-10-30 Обновление
GB/T 5832.2 Газовый анализ. Определение содержания воды. Часть 2. Метод точки росы.*, 2016-12-13 Обновление
GB/T 6681 Общие правила отбора проб газообразных химических продуктов
GB/T 24469-2009 История
2014GB/T 14602-2014 Газы для электронной промышленности.Хлороводород.
2009GB/T 24469-2009 Газ для электронной промышленности.5N хлористый водород
GB/T 24469-2009 Газ для электронной промышленности.5N хлористый водород было изменено на GB/T 14602-2014 Газы для электронной промышленности.Хлороводород..