JIS K 0160:2009 Химический анализ поверхности. Химические методы сбора элементов с поверхности рабочих эталонных материалов кремниевых пластин и их определение методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
JIS B 9920 Классификация чистоты воздуха чистых помещений.
JIS K 0148 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
JIS Z 8402-2 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерения.
JIS K 0160:2009 История
2009JIS K 0160:2009 Химический анализ поверхности. Химические методы сбора элементов с поверхности рабочих эталонных материалов кремниевых пластин и их определение методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).