JIS K 0148:2005 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
Этот стандарт определяет метод количественного определения поверхностной концентрации атомов кремниевых зеркальных пластин или эпитаксиальных пластин с помощью рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного внутреннего отражения (TXRF). Этот метод применяется для следующих элементных анализов. —Элементы с атомными номерами от 16(S) до 92(U) —Элементы-загрязнители с поверхностной атомной концентрацией от 1 × 10 атомов/см до 1 × 10 атомов/см — При использовании метода предварительной обработки проб VPD элементы-загрязнители с атомной концентрации от 5 × 10 атомов/см до 5 × 10 атомов/см
2005JIS K 0148:2005 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).