Настоящий стандарт определяет применимые принципы измерения длин микронных размеров с помощью сканирующей электронной микроскопии. Подходит для измерения длины (0,5–10) мкм.
GB/T 16594-2008 Ссылочный документ
JJF 1001-1998 Общие термины метрологии и их определения
JJF 1059-1999 Оценка и выражение неопределенности измерений