Настоящий стандарт определяет метод измерения длин на микронном уровне с помощью сканирующей электронной микроскопии, который подходит для измерения длины 0,5-10 мкм, а также подходит для измерения длин на микронном уровне с помощью электронных зондовых анализаторов.
GB/T 16594-1996 История
2008GB/T 16594-2008 Общие правила измерения длины в микронном масштабе с помощью СЭМ
1996GB/T 16594-1996 Измерение длины в микронах с помощью SEM