1.1 Настоящие спецификации охватывают мишени для распыления чистого титана, используемые в качестве сырья при изготовлении полупроводниковых электронных устройств. 1.2 Настоящий стандарт устанавливает уровни чистоты, физические характеристики, аналитические методы и упаковку. 1.2.1 Обозначение класса является мерой общего содержания металлических примесей. . Обозначение класса не обязательно указывает на пригодность для конкретного применения, поскольку на характеристики могут влиять и другие факторы, помимо общего содержания металлических примесей.
ASTM F1709-97(2002) История
2016ASTM F1709-97(2016) Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1997ASTM F1709-97(2008) Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1997ASTM F1709-97(2002) Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1996ASTM F1709-97 Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах