ASTM F1709-97
Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах

Стандартный №

ASTM F1709-97

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1709-97(2002)

Последняя версия

ASTM F1709-97(2016)

сфера применения

1.1 Данная спецификация охватывает мишени для распыления из чистого титана, используемые в качестве сырья при изготовлении полупроводниковых электронных устройств. 1.2 Настоящий стандарт устанавливает уровни чистоты, физические свойства, аналитические методы и упаковку.

ASTM F1709-97 История

• 2016 ASTM F1709-97(2016) Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
• 1997 ASTM F1709-97(2008) Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
• 1997 ASTM F1709-97(2002) Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
• 1996 ASTM F1709-97 Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах