ASTM E1438-06
Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
- Стандартный №
- ASTM E1438-06
- Дата публикации
- 2006
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM E1438-11
- Последняя версия
- ASTM E1438-11(2019)
- сфера применения
- Хотя было бы желательно измерить степень искажения профиля в любом неизвестном образце, используя стандартный образец и данное руководство, измерения ширины границы раздела фаз (искажение профиля) могут быть уникальными для каждого состава образца (1, 2, 3).3 Это руководство, описывающее метод определения уникальной ширины конкретного интерфейса для выбранного набора условий эксплуатации. В первую очередь он предназначен для обеспечения метода проверки правильности или стабильной работы прибора (или того и другого). Периодический анализ одного и того же образца с последующим измерением ширины границы раздела в соответствии с настоящим руководством обеспечит такие проверки. Процедура, описанная в этом руководстве, может быть адаптирована к любому многослойному образцу с границей раздела слоев, в которой номинированный элемент присутствует в одном слое и отсутствует в другом. Было показано, что для SIMS в частности (4, 5) и для анализа поверхности в целом (6, 7) только строгие методы калибровки могут определить точную ширину границы раздела. Такие процедуры занимают непомерно много времени. Поэтому измерение ширины границы раздела, полученное с использованием процедуры, описанной в этом руководстве, может содержать значительную систематическую ошибку (8). Следовательно, эта мера ширины интерфейса может не иметь никакого отношения к аналогичным измерениям, полученным с помощью других методов. Однако это не умаляет его использования в качестве проверки правильности или стабильности работы прибора, или того и другого. 1.1 Настоящее руководство предоставляет аналитику ВИМС метод определения ширины границ раздела на основе данных распыления ВИМС, полученных в результате анализа слоистых образцов. Настоящее руководство не применяется к данным, полученным в результате анализа образцов с тонкими маркерами или образцов без интерфейсов, таких как образцы, имплантированные ионами. 1.2 В этом руководстве не описываются методы оптимизации ширины интерфейса или оптимизации разрешения по глубине. В этом стандарте не описываются методы оптимизации ширины интерфейса или оптимизации разрешения по глубине. предназначен для решения всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1438-06 Ссылочный документ
- ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
ASTM E1438-06 История
- 2019 ASTM E1438-11(2019) Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
- 2011 ASTM E1438-11 Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
- 2006 ASTM E1438-06 Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
- 1991 ASTM E1438-91(2001) Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
- 1991 ASTM E1438-91(1996) Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
