1.1 Настоящее руководство предоставляет аналитику SIMS метод определения ширины границ раздела на основе данных распыления SIMS, полученных в результате анализа слоистых образцов. Настоящее руководство не применимо к данным, полученным в результате анализа образцов с тонкими маркерами или образцов без интерфейсов, таких как образцы, имплантированные ионами. 1.2 В этом руководстве не описываются методы оптимизации ширины интерфейса или оптимизации разрешения по глубине. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1438-91(1996) История
2019ASTM E1438-11(2019) Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
2011ASTM E1438-11 Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
2006ASTM E1438-06 Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
1991ASTM E1438-91(2001) Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS
1991ASTM E1438-91(1996) Стандартное руководство по измерению ширины границ раздела при профилировании глубины распыления с использованием SIMS