ASTM F1239-94
Стандартные методы испытаний для определения характеристик выделения кислорода кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода
- Стандартный №
- ASTM F1239-94
- Дата публикации
- 1994
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1239-02
- Последняя версия
- ASTM F1239-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящие методы испытаний охватывают дополнительные процедуры проверки характеристик осаждения кислорода на кремниевых пластинах. Предполагается, что характеристики осадков связаны с количеством межузельного кислорода, теряемого в ходе определенных термических циклов. 1.2 Данные методы испытаний можно использовать для качественного сравнения характеристик осаждения двух или более групп пластин. 1.3 Настоящие методы испытаний могут применяться к кремниевым пластинам Чохральского любого типа и любой ориентации, толщина, удельное сопротивление и качество поверхности которых позволяют определять концентрацию кислорода путем инфракрасного поглощения, а концентрация кислорода такова, что создает измеримая потеря кислорода. 1.4 Эти методы испытаний не подходят для определения ширины или характеристик «оголенной зоны» — области вблизи поверхности пластины, которая практически не содержит выделений оксидов. 1.5 Поскольку эти методы испытаний являются разрушительными, необходимо использовать подходящие методы отбора проб. 1.6 Значения, указанные в единицах СИ, считаются стандартными. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 8.
ASTM F1239-94 Ссылочный документ
- ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды*， 1999-11-10 Обновление
- ASTM F1188
- ASTM F416
- ASTM F612
- ASTM F951 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах*， 2002-01-10 Обновление
ASTM F1239-94 История
- 1970 ASTM F1239-02
- 1994 ASTM F1239-94 Стандартные методы испытаний для определения характеристик выделения кислорода кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода
