ASTM F1617-98
Стандартный метод испытаний для измерения поверхностного содержания натрия, алюминия, калия и железа на кремниевых и EPI-подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии
- Стандартный №
- ASTM F1617-98
- Дата публикации
- 1998
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1617-98(2002)
- Последняя версия
- ASTM F1617-98(2002)
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение общего содержания натрия, алюминия и калия на поверхности зеркально-полированного монокристаллического кремния и кремниевых эпи-подложек с использованием вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС). Этот метод испытаний позволяет измерить общее количество каждого металла, поскольку этот метод испытаний не зависит от химического состава или электрической активности металла. 1.2 Этот метод испытаний можно использовать для кремния со всеми видами и концентрациями легирующих примесей. 1.3 Этот метод испытаний специально разработан для использования при поверхностном загрязнении металлом, расположенном в пределах примерно 5 нм от поверхности пластины. 1.4 Этот метод испытаний особенно полезен для определения поверхностной плотности металла в естественном или химически выращенном оксиде полированных кремниевых подложек после очистки. 1.5 Этот метод испытаний полезен при поверхностной плотности натрия, алюминия и калия от 10 до 10 14 атомов/см. Предел обнаружения определяется либо значением BLANK, либо ограничениями скорости счета и может варьироваться в зависимости от прибора. 1.6 Этот метод испытаний дополняет: 1.6.1 Рентгеновскую флуоресценцию полного отражения (TXRF), которая может обнаруживать поверхностные металлы с более высоким атомным номером Z, но не имеет полезных (и; <10 11 атомов/см ) пределов обнаружения для натрий, калий и алюминий на кремнии. 1.6.2 Электронная спектроскопия для химического анализа и электронная оже-спектроскопия, позволяющая обнаружить поверхностную плотность металла порядка 10 12–10 13 атомов/см. 1.6.3 Парофазовый разложение (ППД) поверхностных металлов с последующей атомно-абсорбционной спектроскопией (ААС) или масс-спектрометрией с индуктивно-связанной плазмой (ИСП-МС) остатка ВПД, где пределы обнаружения металлов составляют от 10 до 10 10 атомов/см. Пространственная информация отсутствует, а предварительная концентрация металлов в ППД зависит от химического состава каждого металла. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1617-98 Ссылочный документ
- ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
- ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
ASTM F1617-98 История
- 1970 ASTM F1617-98(2002)
- 1998 ASTM F1617-98 Стандартный метод испытаний для измерения поверхностного содержания натрия, алюминия, калия и железа на кремниевых и EPI-подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии
