Настоящий стандарт определяет метод калибровки увеличения изображения сканирующего электронного микроскопа (далее РЭМ) с использованием сертифицированного эталонного материала (далее — CRM) или эталонного материала (далее RM). Однако этот стандарт не распространяется на CD-SEM. Кроме того, диапазон калибровочного увеличения этого стандарта ограничен используемым CRM или RM.
JIS K 0149-1:2008 Ссылочный документ
JIS Q 0030 Справочные материалы. Избранные термины и определения.*， 2019-01-21 Обновление
JIS Q 0034 Общие требования к компетентности производителей стандартных образцов*， 2012-06-20 Обновление
JIS Q 0035 Стандартные материалы. Руководство по характеристике и оценке однородности и стабильности*， 2022-03-22 Обновление
JIS Q 17025 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий
JIS K 0149-1:2008 История
2008JIS K 0149-1:2008 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.