Настоящий стандарт определяет метод дифракции электронов сходящимся пучком для определения толщины тонких кристаллических образцов с помощью просвечивающей электронной микроскопии. Этот метод пригоден для измерения толщины тонких кристаллов с линейным размером от 10-9м до ×10-3м и толщиной от десятков до сотен нанометров.
GB/T 20724-2006 Ссылочный документ
GB/T 18907-2002 Метод дифракции выбранных участков электронов для просвечивающих электронных микроскопов
GB/T 20724-2006 История
2021GB/T 20724-2021 Микролучевой анализ - метод измерения толщины тонких кристаллов методом дифракции электронов сходящимся пучком.
2006GB/T 20724-2006 Метод измерения толщины тонкого кристалла методом дифракции сходящегося пучка электронов