BS EN 62047-3:2006
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.

Стандартный №

BS EN 62047-3:2006

Дата публикации

2006

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS EN 62047-3:2006

заменять

05/30104054 DC-2005

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет стандартный образец для испытаний, который используется для гарантии правильности и точности системы испытаний на растяжение тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной менее 10 мкм, которые являются основными конструкционными материалами для микроэлектромеханических систем (МЭМС). ), микромашины и подобные устройства. Настоящий международный стандарт основан на такой концепции, согласно которой можно гарантировать правильность и точность системы испытания на растяжение, если измеренная прочность на разрыв стандартных испытательных образцов, прочность на растяжение которых заранее определена, находится в пределах установленного диапазона. Он также определяет образцы для испытаний, чтобы минимизировать отклонения характеристик между деталями.

BS EN 62047-3:2006 Ссылочный документ

• IEC 62047-2 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.
• ISO 17561 Тонкая керамика (высокотехнологичная керамика, усовершенствованная техническая керамика) - Метод испытания модулей упругости монолитной керамики при комнатной температуре методом звукового резонанса.*， 2016-07-01 Обновление

BS EN 62047-3:2006 История

• 2006 BS EN 62047-3:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.