BS ISO 14606:2000 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
Настоящий международный стандарт дает рекомендации по оптимизации параметров профиля глубины распыления с использованием соответствующих однослойных и многослойных эталонных материалов для достижения оптимального разрешения по глубине в зависимости от настроек прибора в электронной оже-спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и массе вторичных ионов. спектрометрия. Настоящий международный стандарт не предназначен для использования специальных многослойных систем, таких как дельта-легированные слои.
BS ISO 14606:2000 История
2023BS ISO 14606:2022 Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов
2015BS ISO 14606:2015 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов
2001BS ISO 14606:2000 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.