BS ISO 14606:2022
Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов
- Стандартный №
- BS ISO 14606:2022
- Дата публикации
- 2023
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS ISO 14606:2022
- сфера применения
- 1 Область применения В этом документе приведены рекомендации и требования по оптимизации параметров профиля глубины распыления с использованием соответствующих однослойных и многослойных эталонных материалов для достижения оптимального разрешения по глубине в зависимости от настроек прибора в электронной оже-спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. и масс-спектрометрия вторичных ионов.Этот документ не предназначен для освещения использования специальных многослойных систем, таких как дельта-легированные слои.
BS ISO 14606:2022 История
- 2023 BS ISO 14606:2022 Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов
- 2015 BS ISO 14606:2015 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов
- 2001 BS ISO 14606:2000 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
