GB/T 17170-1997 Метод определения концентрации EL2 на глубоком уровне нелегированного полуизолирующего монокристаллического арсенида галлия методом измерения инфракрасного поглощения (Англоязычная версия)
Этот стандарт определяет метод испытания на поглощение инфракрасного излучения для нелегированного полуизолирующего монокристалла арсенида галлия и его концентрацию EL2 на глубоком уровне пластины. Настоящий стандарт применим для определения концентрации EL2 нелегированного полуизолирующего монокристалла арсенида галлия и его глубокого уровня подложки с удельным сопротивлением более 107 Ом·см. Настоящий стандарт не распространяется на определение концентрации EL2 на глубоком уровне в полуизолирующих образцах арсенида галлия, легированных хромом.
GB/T 17170-1997 История
2015GB/T 17170-2015 Метод определения концентрации глубоких доноров EL2 в полуизолирующих монокристаллах арсенида галлия методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии
1997GB/T 17170-1997 Метод определения концентрации EL2 на глубоком уровне нелегированного полуизолирующего монокристаллического арсенида галлия методом измерения инфракрасного поглощения