GB/T 6617-1995
Метод испытаний для измерения удельного сопротивления кремниевых пластин с использованием зонда сопротивления растекания (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 6617-1995
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 6617-2009
- Последняя версия
- GB/T 6617-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения удельного сопротивления кремниевых пластин с помощью датчиков сопротивления растекания. Этот стандарт подходит для измерения удельного сопротивления кремниевых пластин с известной ориентацией кристаллов и типом проводимости, а также для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных слоев кремния того же или противоположного типа, что и подложка. Диапазон измерения: 10-3～102Ом·см.
GB/T 6617-1995 История
- 2009 GB/T 6617-2009 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления кремниевой пластины с использованием датчика сопротивления растекания
- 1995 GB/T 6617-1995 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления кремниевых пластин с использованием зонда сопротивления растекания
