ASTM F928-93(1999)
Стандартные методы испытаний контура края круглых полупроводниковых пластин и жестких дисковых подложек
- Стандартный №
- ASTM F928-93(1999)
- Дата публикации
- 2002
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F928-02
- Последняя версия
- ASTM F928-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящие методы испытаний2 предоставляют средства для исследования контура края круглых пластин из кремния, арсенида галлия и других электронных материалов и определения соответствия границам контура, заданным шаблоном, определяющим разрешенную зону, через которую должен проходить контур. Основное применение такого шаблона предназначено, помимо прочего, для пластин, кромкам которых намеренно придали определенную форму. 1.2 Описаны два метода испытаний. Один – деструктивный и ограничивается осмотром отдельных точек на периферии, в том числе квартир. Контур пластин, специально имеющих форму края, может не быть однородным по всей периферии, и, таким образом, дискретное местоположение(я) может быть или не быть репрезентативным для всей периферии. Второй метод контроля является неразрушающим и подходит для проверки всех точек периферии пластин, кроме лысок. 1.3 Метод неразрушающего контроля может применяться также для контроля краевого контура внешней периферии подложек жестких дисков, используемых для магнитного хранения информации. ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Ссылка на пластины в остальной части настоящего стандарта должна интерпретироваться как включающая подложки для жестких дисков, если только фраза «из электронных материалов» не включена в контекст. 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F928-93(1999) Ссылочный документ
- ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса
ASTM F928-93(1999) История
- 1970 ASTM F928-02
- 2002 ASTM F928-93(1999) Стандартные методы испытаний контура края круглых полупроводниковых пластин и жестких дисковых подложек
