GB/T 40109-2021 (Англоязычная версия) Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод глубинного профиля бора в кремнии.

сфера применения: В этом документе описаны методы определения профиля бора в кремнии по глубине с использованием магнитного секторного или квадрупольного масс-спектрометра вторичных ионов, а также методы калибровки по глубине с использованием профилометра поверхности иглы или оптического интерферометра. /см3 ~ 1×1020 а/см3 монокристаллический кремний, поликристаллический кремний или аморфный кремний. Этот документ применим к образцам кремния с диапазоном концентрации атомов бора 1×1016 атм · омс и глубиной кратера дугового распыления 50 нм или выше.

GB/T 40109-2021 Ссылочный документ

ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

2021 GB/T 40109-2021 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод глубинного профиля бора в кремнии.