ASTM F1153-92(2002)
- Стандартный №
- ASTM F1153-92(2002)
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- Последняя версия
- ASTM F1153-92(2002)
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает процедуры измерения плоскозонной емкости структур металл-оксид-кремний (МОП), напряжения плоскозонной зоны, средней концентрации носителей заряда на обедненной длине границы раздела полупроводник-оксид, смещения напряжения плоскозонной зоны после приложения напряжения при повышенных напряжениях. температуры, загрязнение подвижным ионным зарядом и общая плотность фиксированного заряда. Также описана процедура обнаружения присутствия PN-переходов в приповерхностной области объемного или эпитаксиального кремния. 1.2 Методика применима к объемному кремнию n- и p-типа с концентрацией носителей от 5 3 10 14 до 5 3 10 16 носителей на см 3 включительно, а также эпитаксиальному кремнию N/N+ и P/P+ с той же диапазон концентрации носителей. 1.3 Методика применима для образцов с толщиной оксида от 50 до 300 нм. 1.4 Процедура может дать представление об уровне дефектов в структуре МОП. Эти дефекты включают захваченный заряд на границе раздела, фиксированный заряд оксида, захваченный заряд оксида и постоянные инверсионные слои. 1.5 На точность процедуры могут влиять неоднородности оксида или полупроводника, параллельного границе раздела полупроводник-оксид. 1.6 Методика применима для измерения концентраций мобильных ионных зарядов 1 3 1010 см-2 или более. Альтернативные методы, такие как метод треугольной развертки по напряжению 2 (1), могут потребоваться, когда необходимо измерить концентрацию заряда мобильных ионов менее 1 3 10 10 см -2. 1.7 Методику применяют для измерения общей фиксированной плотности заряда 5 3 10 10 см-2 или более. Альтернативные методы, такие как метод проводимости (2), могут потребоваться, когда необходимо измерить компонент плотности интерфейсного захваченного заряда общего фиксированного заряда менее 5 3 10 10 см -2. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1153-92(2002) Ссылочный документ
ASTM F1153-92(2002) История
- 1970 ASTM F1153-92(2002)
- 1992 ASTM F1153-92(1997) Стандартный метод испытаний для определения характеристик структур металл-оксид-кремний (МОП) путем измерения напряжения-емкости
