GB/T 42274-2022 (Англоязычная версия) Определение содержания и распределения микроэлементов (магния, галлия) в нитридных материалах алюминия — Вторичная ионная масс-спектрометрия.

Стандартный №: GB/T 42274-2022
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2022
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 42274-2022

сфера применения: В настоящем документе описан метод вторично-ионной масс-спектрометрии для определения содержания и распределения следовых количеств магния и галлия в монокристаллах нитрида алюминия.Настоящий документ применим к количественному определению содержания и распределения следовых количеств магния и галлия-аллия в нитриде алюминия. Монокристалл, % Примечание: Содержание измеряемого элемента в монокристалле нитрида алюминия рассчитывается по числу атомов на кубический сантиметр.

GB/T 42274-2022 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 22461 Химический анализ поверхности. Словарь.
GB/T 25186 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности по ионно-имплантированным стандартным образцам.
GB/T 32267 Терминология тестирования производительности аналитического прибора

2022 GB/T 42274-2022 Определение содержания и распределения микроэлементов (магния, галлия) в нитридных материалах алюминия — Вторичная ионная масс-спектрометрия.