GB/T 39145-2020
Метод определения содержания поверхностных металлических элементов на кремниевых пластинах — масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 39145-2020
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2020
- Разместил
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Последняя версия
- GB/T 39145-2020
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод определения содержания металлических элементов на поверхности кремниевых пластин методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Настоящий стандарт применим для определения микроэлементов таких металлов, как натрий, магний, алюминий, калий, кальций, хром, марганец, железо, кобальт, парча, медь и цинк, на поверхности кремниевых одиночных полированных пластин и кремниевых эпитаксиальных пластин. диапазон измерения составляет 10–10 см». Этот стандарт также применим для определения содержания микроэлементов на поверхности кремниевых пластин без рисунка, таких как отожженные кремниевые пластины и диффузионные кремниевые пластины. Примечание. Содержание металлических элементов на поверхности Кремниевые пластины измеряются в атомах на квадратный сантиметр.
GB/T 39145-2020 Ссылочный документ
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 17433 Основные положения по химическому анализу металлургической продукции
- GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин
- GB/T 25915.1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц.*， 2021-08-20 Обновление
- GB/T 37837 Общие правила квадрупольной масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой
- GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
- JJF 1159 Спецификация калибровки для квадрупольных масс-спектрометров с индуктивно связанной плазмой
GB/T 39145-2020 История
- 2020 GB/T 39145-2020 Метод определения содержания поверхностных металлических элементов на кремниевых пластинах — масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.
