IEC 62047-31:2017
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 31. Метод испытания на четырехточечный изгиб для определения энергии межфазной адгезии слоистых МЭМС-материалов (Редакция 1.0).

Стандартный №

IEC 62047-31:2017

Дата публикации

2017

Разместил

IEC - International Electrotechnical Commission

состояние

быть заменен 2019-04

быть заменен

IEC 62047-31:2019

Последняя версия

IEC 62047-31:2019

сфера применения

В этой части IEC 62047 определены методы измерения характеристик электромеханического преобразования тонкой пьезоэлектрической пленки, используемой для микросенсоров и микроприводов@, и схема ее отчетности для определения характеристических параметров для потребительской@ промышленности или любых других применений пьезоэлектрических устройств.Настоящий документ применяется. к тонким пьезоэлектрическим пленкам, изготовленным методом МЭМС.

IEC 62047-31:2017 История

• 2019 IEC 62047-31:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 31. Метод испытания на четырехточечный изгиб для определения энергии межфазной адгезии слоистых материалов МЭМС.
• 2017 IEC 62047-31:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 31. Метод испытания на четырехточечный изгиб для определения энергии межфазной адгезии слоистых МЭМС-материалов (Редакция 1.0).