IEC 62047-31:2019
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 31. Метод испытания на четырехточечный изгиб для определения энергии межфазной адгезии слоистых материалов МЭМС.

Стандартный №

IEC 62047-31:2019

Дата публикации

2019

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-31:2019

сфера применения

В этой части IEC 62047 определен метод испытания на четырехточечный изгиб для измерения энергии межфазного сцепления самого слабого интерфейса в слоистых микроэлектромеханических системах (МЭМС), основанный на концепции механики разрушения. В различных устройствах МЭМС@ имеется много слоев интерфейсов материалов@, и их энергия адгезии имеет решающее значение для надежности устройств МЭМС. В испытании на четырехточечный изгиб используется чистый изгибающий момент, приложенный к испытательному образцу многослойного устройства МЭМС, а энергия межфазной адгезии измеряется на основе критического изгибающего момента для устойчивого растрескивания на самой слабой границе раздела. Этот метод испытаний применяется к устройствам MEMS с тонкими пленочными слоями, нанесенными на полупроводниковые подложки. Общая толщина слоев тонкой пленки должна быть в 100 раз меньше толщины несущей подложки (обычно кремниевой пластины).

IEC 62047-31:2019 История

• 2019 IEC 62047-31:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 31. Метод испытания на четырехточечный изгиб для определения энергии межфазной адгезии слоистых материалов МЭМС.
• 2017 IEC 62047-31:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 31. Метод испытания на четырехточечный изгиб для определения энергии межфазной адгезии слоистых МЭМС-материалов (Редакция 1.0).