PNS ISO 14644-14:2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.
Эта часть PNS ISO 14644 определяет методологию оценки пригодности оборудования (например, машин, измерительного оборудования, технологического оборудования, компонентов и инструментов) для использования в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах с точки зрения чистоты переносимых по воздуху частиц, как
PNS ISO 14644-14:2021 История
2021PNS ISO 14644-14:2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.