NF A91-156*NF ISO 23216:2021 Пленки на основе углерода. Определение оптических свойств пленок аморфного углерода методом спектроскопической эллипсометрии.
2021NF A91-156*NF ISO 23216:2021 Пленки на основе углерода. Определение оптических свойств пленок аморфного углерода методом спектроскопической эллипсометрии.