ISO 14644-14:2016
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.

Стандартный №

ISO 14644-14:2016

Дата публикации

2016

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 14644-14:2016

ISO 14644-14:2016 Ссылочный документ

• ISO 14644-1:2015 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц
• ISO 14644-3:2005  Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний.
• ISO 14644-7:2004  Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 7. Изолирующие устройства (вытяжные шкафы, перчаточные боксы, изоляторы и мини-среды).
• ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц
• ISO 8573-8:2004 Сжатый воздух. Часть 8. Методы определения содержания твердых частиц по массовой концентрации
• JIS B 9926:1991  Чистые помещения. Методы испытаний на образование пыли от движущихся механизмов.
• SEMI F70-0611 
• VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Технология чистых помещений – совместимость с требуемой чистотой и чистотой поверхности.

ISO 14644-14:2016 История

• 2016 ISO 14644-14:2016 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.