DIN ISO 18516:2020 Химический анализ поверхности. Определение поперечного разрешения и резкости лучевыми методами в диапазоне от нанометров до микрометров (ISO 18516:2019); Текст на английском языке
В этом документе описаны методы измерения поперечного разрешения и резкости при химическом анализе поверхности.
DIN ISO 18516:2020 История
2020DIN ISO 18516:2020-11 Химический анализ поверхности. Определение поперечного разрешения и резкости лучевыми методами в диапазоне от нанометров до микрометров (ISO 18516:2019); Текст на английском языке
2020DIN ISO 18516:2020 Химический анализ поверхности. Определение поперечного разрешения и резкости лучевыми методами в диапазоне от нанометров до микрометров (ISO 18516:2019); Текст на английском языке