SJ/T 11552-2015 Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасного поглощения с P-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера (Англоязычная версия)
Этот стандарт определяет метод измерения содержания межузельного кислорода в кремнии с использованием инфракрасной абсорбционной спектрометрии падающего под углом Брюстера P-поляризованного излучения. Этот стандарт подходит для тестирования содержания межузельного кислорода в монокристаллах кремния с удельным сопротивлением более 5 Ом·см при комнатной температуре и особенно подходит для измерения содержания кислорода в образцах тонких кремниевых пластин. Допустимый диапазон содержания кислорода — от 1 × 10 ат·см до максимальной твердой растворимости межузельного кислорода в монокристаллах кремния.
SJ/T 11552-2015 История
2015SJ/T 11552-2015 Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасного поглощения с P-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера