ISO 13083:2015
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты по определению и калибровке пространственного разрешения электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации легирующих примесей и других целей.
- Стандартный №
- ISO 13083:2015
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 13083:2015
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт описывает метод измерения пространственного (латерального) разрешения сканирующих емкостных микроскопов (SCM) или сканирующих микроскопов сопротивления растекания (SSRM), которые широко используются для визуализации распределения носителей заряда и других электрических свойств в полупроводниковых устройствах. Метод предполагает использование артефакта с острыми краями.
ISO 13083:2015 Ссылочный документ
- ISO 18115-2:2013 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.
- ISO 18516:2006 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения.
ISO 13083:2015 История
- 2015 ISO 13083:2015 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты по определению и калибровке пространственного разрешения электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации легирующих примесей и других целей.
