ISO/TS 20175:2018
Вакуумная техника. Вакуумметры. Характеристика квадрупольных масс-спектрометров для измерения парциального давления.

Стандартный №

ISO/TS 20175:2018

Дата публикации

2018

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO/TS 20175:2018

ISO/TS 20175:2018 Ссылочный документ

• DIN 28410:1968 Вакуумная технология; Масс-спектрометр, манометры парциального давления; Определения, характеристики, условия эксплуатации
• ISO 14291:2012 Вакуумметры. Определения и характеристики квадрупольных масс-спектрометров.
• ISO 3567:2011 Вакуумметры. Калибровка путем прямого сравнения с эталонным манометром.
• ISO/IEC GUIDE 98-3:2008  Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).

ISO/TS 20175:2018 История

• 2018 ISO/TS 20175:2018 Вакуумная техника. Вакуумметры. Характеристика квадрупольных масс-спектрометров для измерения парциального давления.