VDI/VDE 3717 Blatt 6-1999
Масковая инженерия - Pellicles
- Стандартный №
- VDI/VDE 3717 Blatt 6-1999
- Дата публикации
- 1999
- Разместил
- Association of German Mechanical Engineers
- состояние
- Последняя версия
- VDI/VDE 3717 Blatt 6-1999
- заменять
- VDI/VDE 3717 Blatt 6-1990
- сфера применения
- Эти спецификации охватывают общие требования к пленкам, используемым в качестве защиты фотошаблонов. Спецификации во многом соответствуют стандартизациям, подготовленным SEMI (Институтом полупроводникового оборудования и материалов) в США. Приложения, использующие глубокое УФ-облучение (длина пути
VDI/VDE 3717 Blatt 6-1999 Ссылочный документ
- VDI 2083 Blatt 1-1995 Reinraumtechnik - Grundlagen@ Definitionen und Festlegungen der Reinheitsklassen
- VDI 2083 Blatt 10-1998 Технология чистых помещений — системы подачи сред высокой/сверхвысокой чистоты (HP-/UHP-)
- VDI 2083 Blatt 11-1999 Технологии чистых помещений – гарантия качества
- VDI 2083 Blatt 12-1998 Reinraumtechnik - Sicherheits- und Umweltschutzaspekte
- VDI 2083 Blatt 2-1996 Reinraumtechnik - Bau@ Betrieb und Instandhaltung
- VDI 2083 Blatt 3-1993 Контроль загрязнения; методы измерения для помещений с чистым воздухом
- VDI 2083 Blatt 4-1996 Технология чистых помещений – чистота поверхности
- VDI 2083 Blatt 5-1996 Технология чистых помещений – тепловой комфорт
- VDI 2083 Blatt 6-1996 Технология чистых помещений - Персонал на чистом рабочем месте
- VDI 2083 Blatt 7-1992 Рейнраумтехник; Райнхайт фон Процессмедиен
- VDI 2083 Blatt 9-1991 Проектирование чистых помещений; качество @ производство и дистрибуция сверхчистой воды
VDI/VDE 3717 Blatt 6-1999 История
- 1999 VDI/VDE 3717 Blatt 6-1999 Масковая инженерия - Pellicles
- 1990 VDI/VDE 3717 Blatt 6-1990 Маскентехник; Пелликулы
