Настоящий стандарт определяет термины и определения, приборы, процедуры испытаний и методы количественного анализа для определения фазового состава материалов из нитрида кремния методом рентгеновской поликристаллической дифракции. Настоящий стандарт распространяется на количественный анализ фазы и β-фазы в нитриде кремния. В случае наличия кристаллической фазы или аморфной фазы, отличной от этих двух фаз, анализируются только относительные массовые проценты α-фазы и β-фазы. Если содержание α-фазы или β-фазы составляет ≤1%, настоящий стандарт не применяется.