DIN 32567-1:2015
Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 1. Качественная оценка влияния материалов и конкретных процедур.
- Стандартный №
- DIN 32567-1:2015
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 32567-1:2015-06
- Последняя версия
- DIN 32567-1:2015-06
- заменять
- DIN 32567-1:2014
DIN 32567-1:2015 Ссылочный документ
- DIN 32564-1:2004 Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 1. Общие положения по микросистемной технике.
- DIN EN ISO 25178-2:2012 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: площадь. Часть 2: Термины, определения и параметры текстуры поверхности (ISO 25178-2:2012); Немецкая версия EN ISO 25178-2:2012.
- DIN EN ISO 25178-601:2011 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 601. Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов (ISO 25178-601:2010); Немецкая версия EN ISO 25178-601:2010.
- DIN EN ISO 25178-602:2011 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 602. Номинальные характеристики бесконтактных (конфокальных хроматических зондов) инструментов (ISO 25178-602:2010); Немецкая версия EN ISO 25178-602:2010.
- DIN EN ISO 25178-603:2014 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия) (ISO 25178-603:2013); Немецкая версия EN ISO 25178-603:2013.
- DIN EN ISO 25178-604:2013 Геометрическая спецификация продукта (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования) (ISO 25178-604:2013); Немецкая версия EN ISO 25178-604:2013.
- DIN EN ISO 25178-605:2014 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 605. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (точечный датчик автофокусировки) (ISO 25178-605:2014); Немецкая версия EN ISO 25178-605:2014.
- DIN EN ISO 25178-6:2010 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: площадь. Часть 6. Классификация методов измерения текстуры поверхности (ISO 25178-6:2010); Немецкая версия EN ISO 25178-6:2010.
- DIN EN ISO 3274:1998 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов (ISO 3274:1996); Немецкая версия EN ISO 3274:1997.
DIN 32567-1:2015 История
- 2015 DIN 32567-1:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 1. Качественная оценка влияния материалов и конкретных процедур.
- 2015 DIN 32567-1:2015 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 1. Качественная оценка влияния материалов и конкретных процедур.
- 1970 DIN 32567-1 E:2014-11
- 0000 DIN 32567-1:2014
