ASTM F1593-08(2016)
Стандартный метод определения следов металлических примесей в алюминии электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
- Стандартный №
- ASTM F1593-08(2016)
- Дата публикации
- 2008
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Последняя версия
- ASTM F1593-08(2016)
- сфера применения
- 5.1Настоящий метод испытаний предназначен для применения в полупроводниковой промышленности для оценки чистоты материалов (например, мишеней распыления, источников испарения), используемых в процессах металлизации тонких пленок. Этот метод испытаний может быть полезен в дополнительных приложениях, не предусмотренных ответственным техническим комитетом, по согласованию заинтересованных сторон. 5.2. Настоящий метод испытаний предназначен для использования аналитиками GDMS в различных лабораториях для унификации протокола и параметров определения микропримесей в чистом алюминии. Цель состоит в том, чтобы улучшить согласованность данных анализа между лабораториями. Этот метод испытаний также предназначен для пользователей анализов GDMS в качестве помощи в понимании метода определения, а также значимости и надежности сообщаемых данных GDMS. 5.3. Для большинства металлических частиц предел обнаружения для рутинного анализа составляет порядка 0,01 весовой части на миллион. При соблюдении особых мер предосторожности возможны пределы обнаружения до уровня ниже миллиарда. 5.4. Этот метод испытаний может использоваться в качестве контрольного метода для производителей и пользователей алюминиевых материалов электронного класса. 1.1. Этот метод испытаний охватывает измерение концентрации следовых металлических примесей в алюминии высокой чистоты. 1.2. Этот метод испытаний относится к анализу с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда с магнитным сектором (GDMS). 1.3. Алюминиевая матрица должна иметь чистоту 99,9 мас.% (класс 3N) или более чистую по отношению к металлическим примесям. Не должно быть основных компонентов сплава, например кремния или меди, с концентрацией более 1000 весовых частей на миллион. 1.4. Этот метод испытаний не включает всю информацию, необходимую для выполнения анализа GDMS. Для достижения необходимой чувствительности требуется сложное лабораторное оборудование с компьютерным управлением, умело используемое опытным оператором. Этот метод испытаний не охватывает конкретные факторы (например, подготовку образцов, установку коэффициентов относительной чувствительности, определение пределов чувствительности и т. д.), которые, как известно ответственному техническому комитету, влияют на надежность анализа алюминия высокой чистоты. 1.5. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1593-08(2016) Ссылочный документ
- ASTM E1257 Стандартное руководство по оценке шлифовальных материалов, используемых для подготовки поверхности в спектрохимическом анализе
- ASTM E135 Стандартная терминология, относящаяся к аналитической химии металлов, руд и родственных материалов
- ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM
- ASTM E691 Стандартная практика проведения межлабораторного исследования для определения точности метода испытаний
ASTM F1593-08(2016) История
- 2008 ASTM F1593-08(2016) Стандартный метод определения следов металлических примесей в алюминии электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
- 2008 ASTM F1593-08 Стандартный метод определения следов металлических примесей в алюминии электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
- 1997 ASTM F1593-97(2002) Стандартный метод определения следов металлических примесей в алюминии электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
- 1997 ASTM F1593-97 Стандартный метод определения следов металлических примесей в алюминии электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
