Этот стандарт определяет метод измерения длины базовой плоскости пластин электронного материала. Настоящий стандарт применяется для измерения базовой длины поверхности кремниевых полировальных, шлифовальных и отрезных дисков различного диаметра. Он также подходит для измерения длины базовой плоскости арсенида галлия, сапфира, гадолиниево-галлиевого граната и пластин других материалов.
GB/T 13387-1992 История
2009GB/T 13387-2009 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
1992GB/T 13387-1992 Метод испытаний для измерения плоской длины ломтиков электронных материалов