EN ISO 14644-2:2015 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Мониторинг для обеспечения доказательств эффективности чистых помещений, связанной с чистотой воздуха по концентрации частиц.
Эта часть ISO 14644 определяет минимальные требования к плану мониторинга характеристик чистого помещения или чистой зоны с точки зрения чистоты воздуха с использованием концентрации частиц на основе параметров, которые измеряют или влияют на концентрацию частиц в воздухе. Эта часть ISO 14644 не охватывает мониторинг состояния таких аспектов, как: Б. Вибрация или общее обслуживание инженерных систем. Он не предназначен для мониторинга групп частиц за пределами указанного нижнего порога (предела обнаружения) размера частиц в диапазоне от 0,1 мкм до 5 мкм. Концентрации ультрамелких частиц (частиц размером менее 0,1 мкм) рассматриваются в другой части этой серии стандартов.
EN ISO 14644-2:2015 Ссылочный документ
ISO 14644-1:2015 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц
ISO 14644-3:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний.
ISO 14644-4:2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и запуск.
ISO 21501-4:2007 Определение распределения частиц по размерам. Методы взаимодействия одиночных частиц со светом. Часть 4. Счетчик частиц по рассеянию света в воздухе для чистых помещений.
ISO 31000:2009 Управление рисками. Принципы и рекомендации
EN ISO 14644-2:2015 История
2015EN ISO 14644-2:2015 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Мониторинг для обеспечения доказательств эффективности чистых помещений, связанной с чистотой воздуха по концентрации частиц.
2000EN ISO 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия стандарту ISO 14644-1. ISO 14644-2:2000.