SJ/T 11489-2015
Метод испытаний для измерения плотности ямок травления (EPD) в пластинах фосфида индия с низкой плотностью дислокаций (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11489-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2015

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 11489-2015

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод измерения плотности ямок травления (EPD) полированных пластин фосфида индия (InP) с низкой плотностью дислокаций. Настоящий стандарт применяется к измерению EPD круглых пластин InP диаметром 2 дюйма и EPD менее 5 000/см.

SJ/T 11489-2015 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения

SJ/T 11489-2015 История

• 2015 SJ/T 11489-2015 Метод испытаний для измерения плотности ямок травления (EPD) в пластинах фосфида индия с низкой плотностью дислокаций