GB/T 32281-2015 (Англоязычная версия) Метод испытаний для измерения кислорода, углерода, бора и фосфора в солнечных кремниевых пластинах и сырье. Масс-спектрометрия вторичных ионов.

Стандартный №: GB/T 32281-2015
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2015
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 32281-2015

сфера применения: Этот стандарт определяет метод вторично-ионной масс-спектрометрии (SIMS) для определения содержания кислорода, углерода, бора и фосфора в кремниевых пластинах и кремниевых материалах солнечного качества. Настоящий стандарт распространяется на определение объемного содержания кислорода, углерода, бора и фосфора в монокристаллических или поликристаллических кремниевых пластинах или кремниевых материалах солнечного качества, которые не изменяются с глубиной и не учитывают компенсацию. Предел обнаружения содержимого тела каждого элемента составляет 0,2% (т.е.

GB/T 32281-2015 Ссылочный документ

ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)

2015 GB/T 32281-2015 Метод испытаний для измерения кислорода, углерода, бора и фосфора в солнечных кремниевых пластинах и сырье. Масс-спектрометрия вторичных ионов.