BS ISO 13083:2015
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты по определению и калибровке пространственного разрешения электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации легирующих примесей и других целей.
- Стандартный №
- BS ISO 13083:2015
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS ISO 13083:2015
BS ISO 13083:2015 Ссылочный документ
- ISO 18115-2 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.*， 2021-12-21 Обновление
- ISO 18516 Химический анализ поверхности. Определение поперечного разрешения и резкости лучевыми методами в диапазоне от нанометров до микрометров.*， 2019-01-14 Обновление
BS ISO 13083:2015 История
- 2015 BS ISO 13083:2015 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты по определению и калибровке пространственного разрешения электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации легирующих примесей и других целей.
