BS EN 62047-17:2015
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок

Стандартный №

BS EN 62047-17:2015

Дата публикации

2015

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS EN 62047-17:2015

BS EN 62047-17:2015 Ссылочный документ

• EN 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.

BS EN 62047-17:2015 История

• 2015 BS EN 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок