Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила контроля и маркировки, упаковки, транспортирования, хранения и сертификата качества, а также форму заказа (или контракта) на напыляемые материалы из золотобериллиевых сплавов. Настоящий стандарт распространяется на испаряемые материалы из сплавов золота и бериллия, используемые в полупроводниковой промышленности.
YS/T 1069-2015 История
2015YS/T 1069-2015 Испарительный материал из сплава золота и бериллия